晶圆环:材质不锈铁,特征是具有优异的防锈性,耐化学性,同心度高。它的硬度高抗冲击性强,耐用且耐高温。适用于150、200、 300mm 的晶圆。可兼容各种晶圆绷框腹膜处理设备。可按客户的工艺定制。
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